路维光电：公司已实现180nm及以上工艺节点半导体掩膜版量产，同时储备了150nm工艺节点掩膜版制造技术和OPC、中高端半导体掩膜版的制造技术，如PSM

清溢光电：在半导体芯片掩膜版技术方面，公司已经实现了180nm工艺节点半导体芯片掩膜版的客户测试认证和量产，正在进行130nm-65nm半导体芯片掩膜版的工艺研发，以及28nm半导...