路维光电:公司实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版量产

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路维光电:公司已实现180nm及以上工艺节点半导体掩膜版量产,同时储备了150nm工艺节点掩膜版制造技术和OPC、中高端半导体掩膜版的制造技术,如PSM

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