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[中瓷电子：公司产品已批量应用于国内半导体关键设备]中瓷电子在互动平台上表示，公司精密陶瓷部件是氧化铝、氮化铝等先进陶瓷精密加工半导体设备的核心部件，具有高强度、耐腐蚀、高精度等优良性能，应用于蚀刻机、涂层显影仪、光刻机、离子注入机等半导体关键设备。公司开发了精密陶瓷零件氧化铝、氮化铝核心材料及配套金属化系统，建立了完善的精密陶瓷零件制造工艺平台，开发了陶瓷加热板产品核心技术指标达到国际同类产品水平，通过用户验证，实现了关键部件的定位，已批量应用于国内半导体关键设备。
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